1ナノグラム単位の微小物質を検知 【雰囲気分析装置】
wChizaikwsknt超微量の物質検知に力を発揮
特徴
- LSI製造装置内の汚染度検知・測定技術を用途展開
- センサー部は密閉容器に挿入でき、コントローラも小型・軽量でPCに接続可能
- 汚染物質の特定も可能
- 閉鎖空間での微小な環境変化検知や特定の物質等への応用が可能
成約企業
| 会社名 | タカネ電機株式会社 |
|---|---|
| 所在地 | 川崎市中原区上小田中5-2-2 |
| 電話番号 | 044-751-6101 |
| FAX | 044-751-6103 |
| 事業内容 | ソフトウェア開発、ワイヤーハーネス加工、中間製品の製造(組立、配線、検査、調整)、電子機器の修理やメンテナンス |
導入技術
- 富士通(株) 所有知的財産
- ・「雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法」
・「分子汚染監視システム、保管搬送容器、および分子汚染センサ」
